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A data-driven feedforward control combining feedforward tuning and cascaded iterative learning control
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PRE
AI
DOI：10.1016/j.measurement.2025.117414.png)
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摘要
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前馈控制能够有效提高控制系统的精度。本文介绍了一种数据驱动的复合前馈控制方法，该方法结合了迭代前馈参数整定与级联迭代学习控制（CILC）。所提出的方法采用包含输入整形滤波器（CFT）的前馈参数化技术，以获取最优前馈控制器，有效消除参考轨迹引入的误差，并显著提升轨迹变化的插值能力。CILC在标准迭代学习控制（ILC）的基础上，引入外部迭代循环，从而更充分地利用ILC抑制系统周期性扰动的能力，并进一步提高控制精度。所提出的方法融合了迭代前馈整定的灵活性与CILC的高跟踪精度，并通过理论分析和仿真进行验证。此外，在晶圆平台上的实验验证了该方法的有效性和实用价值。
Keyword:
Feedforward control
Data-driven control
Wafer stage
期刊
IF:
5.6
论文数:
2.1W
被引数:
5.4W
机构
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