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摘要
En 中文
可通过有证且不间断的校准链与参考建立关联的测量结果称为计量学上可溯源的。本文总结了多个表面形貌测量项目中的绝对校准经验和结果。以测量长度为250 mm的平面镜轮廓偏差为例，阐述了绝对校准的概念。此外，概述了将该原理应用于纳米定位和纳米测量机用平面参考镜的形状偏差测量，以及应用于此类精密测量机探针系统的球形物体的测量。本文还涉及了形状偏差测量中计量学可溯源性的某些特殊情况，即以数学模型作为参考。
Keyword:
metrological traceability
absolute calibration
measurement uncertainty
form deviation
three flat test
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measurement uncertainty
form deviation
three flat test