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Achieving picometer-level wavefront repeatability with an enhanced environmentally robust point diffraction interferometer
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AI
DOI：10.1016/j.optlaseng.2026.109702.png)
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摘要
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• 鲁棒干涉仪在非理想环境中实现皮米级重复性。
• 定制AOM驱动器实现相位移动的亚毫赫兹频率稳定性。
• 下采样技术增强对环境噪声的鲁棒性。
• 混合HEFS-傅里叶算法优化高速采样处理。
• 采用多种重复性算法进行严格验证。
Keyword:
picometer repeatability
environmental robustness
point diffraction interferometer
sub-millihertz frequency stability
hybrid HEFS-Fourier algorithm
期刊
IF:
3.7
论文数:
7.3K
被引数:
1.7W
机构
引用论文
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