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Beam direction-controllable surface grating-loaded VCSEL array
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AI
DOI：10.1364/JOSAB.579866.png)
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摘要
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本文展示了一种可控制光束方向的全光速垂直腔面发射激光器（VCSEL）阵列。通过优化矩形VCSEL的弯曲波导外延结构和表面光栅，我们实现了单光束的定向发射。通过理论分析和实验，我们证明了通过改变VCSEL的表面光栅周期来改变光束偏转角是可行的。与通过调节注入电流来控制光束发射方向的传统方案相比，该方法使光束偏转角的可调范围超过28度。据我们所知，这是迄今为止通过慢光速VCSEL器件获得的最大偏转范围，且无需外部光束分束组件。我们将具有不同光栅周期的慢光速VCSEL集成到阵列中，最终实现了超过55度的光束偏转角范围和0.58度的最小远场发散角。此外，对于单个VCSEL，通过改变注入电流，可以实现1.4度的连续偏转角变化。这项研究有望应用于3D传感领域，实现芯片级直接扫描。(c) 2025 Optica Publishing Group. All rights, including for text and data mining (TDM), Artificial Intelligence (AI) training, and similar technologies, are reserved.
Keyword:
OPTICAL PHASED-ARRAY
期刊
J
IF:
1.9
论文数:
255
被引数:
1.4W
机构
引用论文
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