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Development of integrated diffractive optical elements for an optimized adjustable array-focus beam application
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DOI：10.1364/josaa.591048.png)
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摘要
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本研究提出了一种利用衍射光学元件创建阵列聚焦光束的综合方法。论文的主要目的是将高斯激光束整形为具有可控参数的特定阵列光束，同时保持低成本和最小化设备需求。这是通过为每种模式使用单个衍射光学元件实现的。通过应用集成结构技术和傅里叶光学，衍射光学元件在制造前进行了设计和仿真，采用激光光刻方法制造。设计了一套验证装置来评估衍射光学元件的光学性能。研究成果表明，衍射光学元件能够以低廉的成本、紧凑的尺寸和良好的耐用性，独立形成各种类型光束（如高斯光束、高阶扭转涡旋光束和圆形光束）的阵列聚焦图案。这些图案的应用扩展到多个领域，包括玻璃切割、改进的哈特曼掩模设计和表面扫描。这些图案特别适用于非光波长场景，如X射线、伽马射线和紫外光，在这些场景中，由于材料限制，传统透镜难以制造。© 2026 Optica Publishing Group。所有权利，包括文本和数据挖掘（TDM）、人工智能（AI）训练以及类似技术，均予保留。
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