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Fiber-Optic MEMS Accelerometer Based on Push-Pull Michelson Interferometer Structure
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DOI：10.1109/JLT.2025.3568117.png)
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摘要
En 中文
我们展示了一种基于硅基片微加工对称推拉弹簧结构的光纤微机电系统（MEMS）加速度计，其结合了与现有光纤MEMS加速度计相比的高灵敏度、低自噪声和宽工作带宽的优点。采用基于3×3光纤耦合器的平衡迈克耳孙干涉仪作为位移转换系统，并提出了改进的椭圆拟合算法（EFA）用于该系统中的相位解调，以解决传统EFA在小信号条件下的局限性。实验结果验证了理论设计和有限元分析，表明所提出的传感器在5～80 Hz的工作带宽内平均灵敏度为48.17 dB re rad/g，谐振频率为139 Hz，两者均与模拟结果高度吻合。传感器的横向串扰小于1.53%。自噪声评估实验的结果证实，所提出的传感器实现了低平均噪声40 ng/Hz1/2，证明其在加速度检测应用中具有纳g分辨率。
Keyword:
Accelerometer
michelson interferometer
microelectromechanical systems (MEMS)
phase modulation
期刊
IF:
4.8
论文数:
1.7W
被引数:
3.8W
机构
引用论文
Theoretical and experimental demonstrations of a microfiber-based flexural disc accelerometer.png)
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