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DOI：10.1016/j.precisioneng.2026.08.024.png)
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摘要
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• 数据增强实现抗图误差的光学对准。
• 针对制造过程定制化的图误差建模支持实际对准。
• 单次实验对准将轴上波前误差均方根值从0.448λ降低至0.087λ。
Keyword:
Figure error
Optical system alignment
Optical manufacturing
Deep learning