Knife-edge scanning filtering method for mid-spatial frequency errors detection in large-gradient optics

2025-10-18

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DOI：10.1016/j.optlastec.2025.114126

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摘要

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• 针对大梯度光学元件中空间频率误差的测量挑战，提出了一种刀口扫描滤波方法用于PSD测量。 • 该方法可在宽动态范围内获取波前相位梯度，并直接计算PSD，无需波前重建，避免了积分引起的累积误差。 • 设计了一种集成刀口模块，用于快速光轴对准，无需扫描间手动校准，实现了自动化测量。