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Linear-Complexity Pixelated Absolute Testing Using Iteration for Laser Fizeau Interferometry
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AI
DOI：10.1109/TIM.2026.3659679.png)
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摘要
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绝对测试将Fizeau干涉仪中的参考面误差与测试面误差分离。为在像素级分辨率下解析绝对面形误差中的高空间频率分量，需要采用像素化建模方法来分离形状误差。然而，传统的像素化绝对测试因大规模数据处理而面临计算瓶颈。为解决此限制，我们通过迭代过程提出了一种线性复杂度的像素化（LCP）绝对测试方法。该方法通过旋转和平移测试面建立绝对测试模型，并利用迭代以线性复杂度计算参考面的形状误差。仿真将所提出的方法与两种替代绝对测试方法进行了比较。结果表明，该方法在像素级高分辨率下显著降低了计算复杂度。使用平面和球面参考镜的实验验证确认了该方法能够解耦包含中高空间频率分量的面形误差，包括安装引起的边缘伪迹和局部缺陷特征，其绝对测试性能优于Zernike拟合方法。
Keyword:
Absolute testing
Fizeau interferometry
linear complexity
pixelated
期刊
IF:
5.9
论文数:
2.0W
被引数:
5.8W
机构
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