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Machine learning coupled RF LC pressure sensing array based on vertical integration structure
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AI
DOI：10.1016/j.sna.2025.116824.png)
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摘要
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• 高灵敏度RF LC压力传感阵列：一种垂直集成的RF LC压力传感阵列，能够检测2.5 Pa至2200kPa的压力，最大灵敏度为13.875 MHz/kPa。
• 用于触觉传感的集成LC压力传感阵列：多个LC压力传感器被集成到紧凑阵列中，实现了高密度触觉传感应用。
• 触觉传感中的机器学习：采用机器学习方法解决S11谱中的共振峰重叠和峰消失问题。
