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MEMS Varifocal Optical Elements for Focus Control
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AI
DOI：10.3390/mi16040482.png)
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摘要
En 中文
随着微电子器件在日常生活中的日益普及，小型化正成为关键趋势，尤其是在光学系统中。具备体积扫描和成像能力的光学系统高度依赖焦点控制。传统的调焦方法因结构复杂、体积庞大而限制了光学系统的小型化。近年来，MEMS变焦光学元件的迅速发展为小型化光学系统提供了充足机遇。本文回顾了过去二十年间关于MEMS变焦光学元件的文献。基于光控制机制，MEMS变焦光学元件可分为三大类：反射式变焦镜、变焦微透镜和相位式变焦镜。引入了一种新型指标，用于评估和比较MEMS变焦光学元件的性能。此外，还讨论了其广泛的应用。本综述可为相关研究人员和工程师提供参考。
Keyword:
MOEMS
focus control
varifocal mirror
tunable lens
micro-optical system
期刊
IF:
3
论文数:
1.4W
被引数:
2.9W
机构
暂无机构信息
引用论文
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