.png){kind=icon}
返回
Microfabricated multi-axis cell for integrated atomic devices
.png){kind=icon}
OA
AI
DOI：10.1088/2515-7647/ae2710.png)
.png){kind=icon}
原文求助.png){kind=icon}
分享.png){kind=icon}
收藏
摘要
En 中文
微加工的碱金属蒸气室能够实现原子传感器的微型化，但需要复杂的特征在晶圆级进行集体集成。在许多应用中——包括磁力计、陀螺仪、磁光阱和荧光成像——需要多个光学通路来提升性能。然而，在不影响可制造性的情况下实现这一点仍然具有挑战性。在本工作中，我们提出了一种晶圆级制造方法，能够实现微加工碱金属蒸气室中的三个正交光学通路，采用完全可扩展和集成的工艺。我们的方法依赖于玻璃预制件的再流热处理，这些预制件由激光辅助蚀刻（LAE）成型，并在硅框架之间键合。LAE产生的相对较低的表面粗糙度允许有效的再流，这进一步平滑了表面，而不会显著影响窗口的光学平坦度。该工艺制得的多轴蒸气室具有嵌入式、光学级侧向窗口。我们通过单光束和双光束原子磁力计测量来评估器件性能。三个正交轴上的磁灵敏度均优于[原文缺失]，证实了该方法在亚皮特斯拉分辨率下进行三轴磁场传感的潜力。这种制造策略为通用、高性能的原子传感器开辟了新的前景，完全兼容晶圆级集成和大规模生产。
期刊
J
IF:
0
论文数:
66
被引数:
0
机构
引用论文
Enhanced observation time of magneto-optical traps using micro-machined non-evaporable getter pumps.png)
SCIENTIFIC REPORTS
OAAI
SCIENTIFIC REPORTSIF3.9
OAAI分享收藏分享收藏分享收藏
查看更多内容