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Mid-spatial frequency errors suppression strategy in micro-variable offset bonnet polishing based on direction angle-path step optimization
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AI
DOI：10.1364/AO.579483.png)
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摘要
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作为一种典型的子孔径抛光技术，bonnet抛光倾向于引入中空间频率（MSF）误差，这会显著降低光学元件的表面轮廓精度和光学系统的成像质量。为有效抑制bonnet抛光中的MSF误差，本文提出了一种基于方向角-路径步长优化的微变偏移bonnet抛光MSF误差抑制策略。该方法通过协同优化方向角和路径步长，克服了传统路径优化方法存在的局限性，从而有效缓解中频误差的产生。建立了工具影响函数（TIF）的旋转角与路径步长及其频域分布之间的定量关系模型，实现了对误差频谱的主动调制与控制。此外，通过在驻留点引入随机偏移扰动，引入小波动以破坏TIF的空间相干性，从而打破MSF误差的周期性结构。仿真分析与实验结果表明，在特定路径步长条件下，方向角和路径步长的优化设计能够显著降低MSF误差的幅值。MSF误差的均方根（RMS）值从初始的1.119 nm降低至0.529 nm，降幅达52.7%。在引入随机扰动后，MSF误差RMS进一步降至0.389 nm，相较于初始值降低了65.2%。该策略不依赖复杂的路径规划，仅通过工艺参数优化即可实现MSF误差的高效抑制，为高精度光学元件的制造提供了一种实用且可行的技术途径。(c) 2025 Optica Publishing Group. All rights, including for text and data mining (TDM), Artificial Intelligence (AI)training, and similar technologies, are reserved.
Keyword:
TOOL PATH
RESTRAINT
期刊
A
IF:
1.7
论文数:
1.0K
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5.1W
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