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Nonlinear Optical Information Encoding with Grayscale Lithography Enabled Metasurfaces
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AI
DOI：10.1021/acs.nanolett.5c00991.png)
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摘要
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光学信息编码在传感、数据存储和计算等许多应用中具有广阔前景。近年来，已提出多种策略在平面器件中实现光学信息编码。其中，光学超表面代表了利用亚波长级元原子操控光的多自由度的一种灵活平台。然而，要利用超表面同时实现对光的振幅和相位控制，通常需要在每个单元胞中布置多个元原子，从而显著降低信息密度。在此，我们提出了一种基于灰度光刻技术的非线性光学信息编码新方法，该方法采用由沉积在近零介电常数材料上的金等离激元元原子构成的混合超表面。通过利用电子束灰度光刻控制间隔层厚度并改变元原子的取向角度，我们可在单像素级别同时调控所产生的二次谐波波的振幅和相位。所提出的方法为开发先进的非线性纳米光子源开辟了新的途径。
Keyword:
nonlinear metasurface
information encoding
grayscale lithography
epsilon-near-zero material