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Nonvolatile Continuously Tunable Integrated Optical Router
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DOI：10.1002/lpor.202500281.png)
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摘要
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可重构光路由器集成到波导中对于片上全光连接至关重要，为经典和量子光信息处理提供了革命性的灵活性和效率。传统的重构方法（热光效应、自由载流子色散、普克尔斯效应）通常受限于体积庞大或静态功耗高，限制了可扩展性。我们首次演示了一种基于CMOS后端绝缘层上硅（SOI）平台的非易失性连续可调集成光路由器。该路由器采用锑化锑（Sb₂S₃）相移器的马赫-曾德尔光开关。利用掺杂硅微加热器通过锑化锑单元的非易失性相变，实现了连续正向开关和超过7位（128级）的反向开关，且静态功耗为零。其0.3 dB/π的近纯相位调节能力实现了超过18 dB的高消光比。该相移器的插入损耗低于0.6 dB，并通过使用不同电压/持续时间的电脉冲进行焦耳加热，耐受了超过1500次开关周期。此外，该相移器还支持通过热光效应实现的MHz速度易失性开关。这种连续可调方法比传统的非易失性多级技术具有更高的精度，并有效缓解了大规模光片上网络（ONoC）系统中积累的传输误差，消除了实现实用光通信和计算的主要障碍。
Keyword:
continuously tunable
nonvolatile optical router
phase change materials
silicon photonics
期刊
L
IF:
10
论文数:
3.7K
被引数:
2.1W
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