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Parallel direct laser writing method based on optical fiber array
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DOI：10.1016/j.optlastec.2025.112738.png)
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摘要
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直接激光写入（DLW）技术已被广泛应用于各个领域，而通过多焦点生成实现并行化是一种提高制造效率的有效方法。然而，现有技术难以在保持高精度和高一致性的同时实现高吞吐量。本文提出了一种基于光纤阵列的高吞吐量纳米级DLW技术，该技术具有通过可独立控制的多个通道进行并行写入的能力，并验证了60通道写入的可能性。基于光纤的束合成技术可将通道间的误差范围缩小至20 nm以内。通过调制并行通道的能量，该技术可在提高吞吐量的同时实现亚40 nm的精度。该技术支持大面积结构和非周期性图案的写入，有望解决高精度并行高吞吐量写入的问题。
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