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Phase measuring deflectometry based microscopy for shape visualization and thickness quantification
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AI
DOI：10.1016/j.optlastec.2025.113524.png)
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摘要
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• PMD显微镜装置利用智能手机显示屏和透镜进行条纹图案的缩小。
• 使用微球进行校准，计算厚度测量的比例因子K。
• 厚度剖面与DHM结果一致，证实了PMD的准确性。
• PMD在纵向精度上达到约9.6 nm，同时减少了噪声和伪影。
• 该系统可有效测量透明微球、红细胞和花粉种子。
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5
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