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Predicting transfer times across production lines using data pooling
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PRE
AI
DOI：10.1016/j.jmsy.2025.12.025.png)
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摘要
En 中文
• 提出了一种预测跨线传输时间（interline transfer times）的可靠方法。
• 采用了数据汇聚策略（data pooling strategies）以提高在设备异构性（device heterogeneity）下的预测效果。
• 该方法使用来自实际半导体晶圆厂（semiconductor fab）的数据进行了评估。
• 所提出的模型，即时间序列残差回归（time-series residual regression），取得了最佳性能。
期刊
IF:
14.2
论文数:
2.7K
被引数:
1.6W
机构
引用论文
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