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Rewritable ITO Patterning for Nanophotonics
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DOI：10.1002/lpor.202401799.png)
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摘要
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纳米光子学器件利用光子与材料在纳米尺度上的独特相互作用，实现了在光学通信、生物传感和量子计算等领域的应用。这些器件的性能易受材料组成和结构设计的影响。纳米制造技术，如光学光刻、电子束光刻、双光子聚合和直接激光写入，已被广泛应用于制造纳米光子学器件。值得注意的是，可重写制造因其低成本、灵活性、高效性和多功能性而脱颖而出。本文提出了一种新颖的可重写纳米制造技术，该技术结合电化学反应与直接激光写入，用于在低成本氧化铟锡（ITO）薄膜上制造纳米光子学器件。实验结果表明，采用本技术可直接制造出高质量且可擦除的光子结构，例如衍射光栅和全息掩模。因此，我们认为该方法可应用于纳米光子学、光电子器件、生物传感器、微机电系统和非线性光学等多个领域。
Keyword:
electrochemical reaction
laser writing
nanophotonics
rewritable fabrication
期刊
L
IF:
10
论文数:
3.7K
被引数:
2.1W
机构
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