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Spatiotemporal Thermal Modulation and Patterning using a Programmable 1024 Element Microheater Array
DOI:10.1002/advs.77563.png)
摘要
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可编程微加热器阵列对于包括气体传感、微流控芯片实验室设备、3D打印机和依赖DNA扩增的生物传感器在内的多种应用至关重要。提高加热元件的密度和数量直接关系到能够以何种精度实现时空热分布。然而,目前尚未实现大型阵列。一个挑战是,随着阵列中元件数量的增加,它们的连接复杂度也随之增长。本文展示了行-列寻址为大型微加热器阵列的高效运行提供了有前景的架构。我们介绍了一种可编程的32×32微加热器阵列,由独立寻址的坚固铂(Pt)基焦耳加热元件组成——每个元件尺寸小于300μm。我们证明,结合高压多路复用电子技术和由高频时钟控制的顺序寻址,可以实现1024个微加热器元件的独立运行。我们演示了热图像的生成以及由液态金属镓形成的金属结构的图案化。我们的工作展示了片上热设备的新的能力,并开启了实现新型热控微驱动系统的可能性。
Keyword:
electronics
fabrication
microheater
multiplexer
patterning
printing
thermal
AI总结
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期刊
IF:
14.1
论文数:
1.8W
被引数:
11.5W
机构
引用论文
Durable and programmable ultrafast nanophotonic matrix of spectral pixels光谱像素的耐用和可编程超快纳米光子矩阵
NATURE NANOTECHNOLOGY
IF34.9
Thermal characterization of carbon nanotube foam using MEMS microhotplates and thermographic analysis
NANOSCALE
IF5.1

