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Spectroscopy Using a Guided-Mode Resonance InGaAs Photodetector Array
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DOI：10.1021/acsphotonics.5c01842.png)
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摘要
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快照光谱学一直是便携式传感成像的目标，但其实现受到缺乏合适光谱光电探测器的限制。在此，我们提出了一种基于InGaAs光电探测器阵列的近红外光谱学，利用导模共振和重建算法。该器件通过将薄InGaAs膜光电探测器集成在精确设计的硅光栅结构上制得。光电探测器阵列的所有像素均具有不同的光栅结构，从而产生独特的光谱响应度。硅光栅引起的导模共振在每个像素中产生独特的吸收峰，与基于宽带像素阵列的常规重建光谱仪相比，显著提高了重建效率。通过乙醇、水、聚碳酸酯和聚氯乙烯的透射率测量验证了单快照光谱学的可行性。具有导模共振的InGaAs光电探测器阵列的光谱学能够通过常规光刻和刻蚀工艺实现良好的芯片集成与重现性。该方法解决了传统大型光谱仪的限制，并为广泛的传感和成像应用提供了一个有前景的平台。
