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Stage Motion Control: Nonlinear Integrators Revisited
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DOI：10.1146/annurev-control-030323-024047.png)
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摘要
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线性积分器以其能够抵消静力并改善控制系统低频扰动抑制特性的能力而闻名。然而，线性积分器会引入相位滞后，这是一种与频率相关的时移或延迟。自Clegg积分器早期引入以来，非线性积分器在描述函数的视角下展现出相较于线性积分器的相位优势。这有可能减少延迟，从而提供超越线性设计限制的手段；例如，超调和稳定时间可以减少甚至避免。此外，环路增益可以增加，这改善了低频扰动抑制特性。对于五种非线性积分器——Clegg积分器、一种称为恒定增益-领先相位（CgLp）元件的一阶广义复位积分器、混合积分器-增益系统、变增益积分器以及分路积分器——本文提供了在平台运动控制领域的比较和近期发展的概述。基准示例取自晶圆扫描仪的工业实践，这些设备是用于计算机芯片制造的枢纽机器。
Keyword:
frequency-domain design
Lyapunov methods
motion control
nonlinear
integrators
stability tools
