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Swelling-Driven Ultrafast Soft Lithography
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DOI：10.1002/smtd.202500681.png)
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摘要
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软刻印技术采用聚合物模具是一种经济高效且可扩展的技术，但通常受限于加工时间长、温度高和生产成本高等问题。在此，介绍了一种基于光盘复制的可拉伸聚二甲基硅氧烷（PDMS）模具（C-PDMS模具），用于在平面和曲面表面上进行超快速、高分辨率的图案化。与刚性的聚氨酯丙烯酸酯（C-PUA）模具不同，C-PDMS可通过溶剂诱导溶胀在约10秒内实现快速图案化——这是目前报道的最快图案化方法。尽管C-PDMS模具会发生溶胀，但通过优化加工溶剂的溶解度参数可确保精确的图案保真度。此外，C-PDMS模具能够贴合不平整表面，克服了刚性C-PUA模具的局限性。其拉伸性进一步支持形状可变形图案化，允许对特征尺寸和几何形状进行调控。这一能力促进了具有亚微米（约500 nm）电极间隙的聚合物和金属结构的制备，以及光学透明金属图案的制备。此外，无需使用多个昂贵的母模，即可制备重叠的金属结构（如金属网格和金属岛阵列），显著降低了制备复杂性和成本。这些发现确立了基于C-PDMS的超快速、共形软刻印技术作为先进微制造领域的多功能平台。
Keyword:
conformal patterning
PDMS mold
shape-deformable patterning
soft lithography
solvent swelling
期刊
IF:
9.1
论文数:
4.3K
被引数:
2.2W
机构
引用论文
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