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Vibration-immune lateral-scanning shearing interferometry for sparse structures
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AI
DOI：10.1016/j.optlaseng.2026.110066.png)
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摘要
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侧向扫描剪切干涉测量（LSSI）技术作为一种具有扩展视场（FOV）的高精度地形测量方法已崭露头角。然而，其性能在扫描过程中极易受到离轴振动和扫描台平直度误差的影响。现有的补偿方法通常依赖硬件反馈系统或后处理算法，这增加了系统复杂度和计算负担。本研究提出了一种适用于稀疏或周期性样本的抗震动侧向扫描剪切干涉测量（LSSI）技术。通过生成物光波前的两个横向剪切副本并利用其自干涉，振动引起的相位变化作为共模分量被固有抵消，从而无需额外补偿即可实现固有抗离轴运动能力。对蚀刻微结构的实验测量表明，所提方法即使在累积离轴位移达853 nm的情况下仍能精确重构地形。测得的台阶高度204.831 nm与商用白光干涉仪（WLI）测量的参考值205.054 nm高度吻合。所提LSSI技术为振动环境下的大面积地形测量提供了一种简单高效的解决方案。
Keyword:
Lateral-scanning interferometry
Shearing interferometry
Vibration compensation
期刊
IF:
3.7
论文数:
7.3K
被引数:
1.7W
机构
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