arrow
Return

High-Resolution Micro Force Sensing Using a Microbubble Probe Resonator

delete2024-03-01
delete1
PRE
AI
刘博男 cover
刘博男 (Bonan Liu)
Q
Qiang Zhang
刘
刘燊 (Shen Liu) *
C
Changrui Liao
J
Junlan Zhong
J
Jun He
Y
Yiping Wang
DOI:10.1109/JLT.2023.3325726delete
deleteOriginal
deleteOriginal request for help
deleteShare
deleteSave
Abstract

Abstract

En 中文
High-resolution measurement of forces in micro/nano scale is essential to various applications. A novel miniature force sensor based on a whispering-gallery-mode (WGM) microbubble probe resonator (MPR) is presented in this work. The resonator consists of a thin-wall microbubble and a probe. The highest quality factor obtained is 1.10 x 10(7). Predominately, the MPR achieves a promising force sensitivity of 19.7 pm/mN and a dynamic range of 0-36 mN. The MPR was used to measure the Young's modulus of a single mode optical fiber (SMF), and the result is coincided with the reported value. High force resolution and spatial resolution are achieved simultaneously. The sensor shows considerable performance and exhibits a potential in micro-force sensing and related applications such as material examination and Young's modulus measurement.
Keywords:
Force
Probes
Optical resonators
Manganese
Optical fiber sensors
Sensitivity
Force measurement
Force sensor
optical fiber sensor
whispering gallery mode resonator

Journal

Journal of Lightwave Technology cover
Journal of Lightwave Technology
IF:
4.8
Papers:
1.7W
Citations:
3.8W

Organization

S
shenzhen university
Scholars:
4.6W
Papers: 3.4W
Citations: 72
Cited Papers

Cited Papers

Sensitive capacitive pressure sensors based on graphene membrane arrays
err2020-11-16
err54
errOAAI
errSiskins, Makars; Lee, Martin; Wehenkel, Dominique; van Rijn, Richard; de Jong, Tijmen W.; Renshof, Johannes R.; Hopman, Berend C.; Peters, Willemijn S. J. M.; Davidovikj, Dejan; van der Zant, Herre S. J.; Steeneken, Peter G.
errShare
errSave
errShare
errSave
Optical force sensor array in a microfluidic device based on holographic optical tweezers
err2009-01-01
err39
PREAI
errUhrig, Kai; Kurre, Rainer; Schmitz, Christian; Curtis, Jennifer E.; Haraszti, Tamas; Clemen, Anabel E. -M.; Spatz, Joachim P.
errShare
errSave
A Generic Classification of the Danthonioideae (Poaceae)1
err2010-10-01
err0
errOAAI
errH. Peter Linder; Marcelo Baeza; Nigel P. Barker; Chloé Galley; Aelys M. Humphreys; Kelvin M. Lloyd; David A. Orlovich; Michael D. Pirie; Bryan K. Simon; Neville Walsh; G. Anthony Verboom
errShare
errSave
Fabry-Perot cavity-based contact force sensor with high precision and a broad operational range
err2019-07-11
err14
PREAI
errDash, Jitendra Narayan; Liu, Zhengyong; Gunawardena, Dinusha Serandi; Tam, Hwa-Yaw
errShare
errSave
Measurement of the top quark mass in the lepton+jets channel using the ideogram method
err2007-05-11
err0
errOAAI
errV. M. Abazov; B. Abbott; M. Abolins; B. S. Acharya; M. Adams; T. Adams; E. Aguilo; S. H. Ahn; M. Ahsan; G. D. Alexeev; G. Alkhazov; A. Alton; G. Alverson; G. A. Alves; M. Anastasoaie; L. S. Ancu; T. Andeen; S. Anderson; B. Andrieu; M. S. Anzelc; Y. Arnoud; M. Arov; A. Askew; B. Åsman; A. C. S. Assis Jesus; O. Atramentov; C. Autermann; C. Avila; C. Ay; F. Badaud; A. Baden; L. Bagby; B. Baldin; D. V. Bandurin; P. Banerjee; S. Banerjee; E. Barberis; A.-F. Barfuss; P. Bargassa; P. Baringer; J. Barreto; J. F. Bartlett; U. Bassler; D. Bauer; S. Beale; A. Bean; M. Begalli; M. Begel; C. Belanger-Champagne; L. Bellantoni; A. Bellavance; J. A. Benitez; S. B. Beri; G. Bernardi; R. Bernhard; L. Berntzon; I. Bertram; M. Besançon; R. Beuselinck; V. A. Bezzubov; P. C. Bhat; V. Bhatnagar; M. Binder; C. Biscarat; G. Blazey; F. Blekman; S. Blessing; D. Bloch; K. Bloom; A. Boehnlein; D. Boline; T. A. Bolton; G. Borissov; K. Bos; T. Bose; A. Brandt; R. Brock; G. Brooijmans; A. Bross; D. Brown; N. J. Buchanan; D. Buchholz; M. Buehler; V. Buescher; S. Burdin; S. Burke; T. H. Burnett; E. Busato; C. P. Buszello; J. M. Butler; P. Calfayan; S. Calvet; J. Cammin; S. Caron; W. Carvalho; B. C. K. Casey; N. M. Cason; H. Castilla-Valdez; S. Chakrabarti; D. Chakraborty; K. Chan; K. M. Chan; A. Chandra; F. Charles; E. Cheu; F. Chevallier; D. K. Cho; S. Choi; B. Choudhary; L. Christofek; T. Christoudias; S. Cihangir; D. Claes; B. Clément; C. Clément; Y. Coadou; M. Cooke; W. E. Cooper; M. Corcoran; F. Couderc; M.-C. Cousinou; S. Crépé-Renaudin; D. Cutts; M. Ćwiok; H. da Motta; A. Das; G. Davies; K. De; P. de Jong; S. J. de Jong; E. De La Cruz-Burelo; C. De Oliveira Martins; J. D. Degenhardt; F. Déliot; M. Demarteau; R. Demina; D. Denisov; S. P. Denisov; S. Desai; H. T. Diehl; M. Diesburg; A. Dominguez; H. Dong; L. V. Dudko; L. Duflot; S. R. Dugad; D. Duggan; A. Duperrin; J. Dyer; A. Dyshkant; M. Eads; D. Edmunds; J. Ellison; V. D. Elvira; Y. Enari; S. Eno; P. Ermolov; H. Evans; A. Evdokimov; V. N. Evdokimov; A. V. Ferapontov; T. Ferbel; F. Fiedler; F. Filthaut; W. Fisher; H. E. Fisk; M. Ford; M. Fortner; H. Fox; S. Fu; S. Fuess; T. Gadfort; C. F. Galea; E. Gallas; E. Galyaev; C. Garcia; A. Garcia-Bellido; V. Gavrilov; P. Gay; W. Geist; D. Gelé; C. E. Gerber; Y. Gershtein; D. Gillberg; G. Ginther; N. Gollub; B. Gómez; A. Goussiou; P. D. Grannis; H. Greenlee; Z. D. Greenwood; E. M. Gregores; G. Grenier; Ph. Gris; J.-F. Grivaz; A. Grohsjean; S. Grünendahl; M. W. Grünewald; F. Guo; J. Guo; G. Gutierrez; P. Gutierrez; A. Haas; N. J. Hadley; P. Haefner; S. Hagopian; J. Haley; I. Hall; R. E. Hall; L. Han; K. Hanagaki; P. Hansson; K. Harder; A. Harel; R. Harrington; J. M. Hauptman; R. Hauser; J. Hays; T. Hebbeker; D. Hedin; J. G. Hegeman; J. M. Heinmiller; A. P. Heinson; U. Heintz; C. Hensel; K. Herner; G. Hesketh; M. D. Hildreth; R. Hirosky; J. D. Hobbs; B. Hoeneisen; H. Hoeth; M. Hohlfeld; S. J. Hong; R. Hooper; P. Houben; Y. Hu; Z. Hubacek; V. Hynek; I. Iashvili; R. Illingworth; A. S. Ito; S. Jabeen; M. Jaffré; S. Jain; K. Jakobs; C. Jarvis; R. Jesik; K. Johns; C. Johnson; M. Johnson; A. Jonckheere; P. Jonsson; A. Juste; D. Käfer; S. Kahn; E. Kajfasz; A. M. Kalinin; J. M. Kalk; J. R. Kalk; S. Kappler; D. Karmanov; J. Kasper; P. Kasper; I. Katsanos; D. Kau; R. Kaur; V. Kaushik; R. Kehoe; S. Kermiche; N. Khalatyan; A. Khanov; A. Kharchilava; Y. M. Kharzheev; D. Khatidze; H. Kim; T. J. Kim; M. H. Kirby; B. Klima; J. M. Kohli; J.-P. Konrath; M. Kopal; V. M. Korablev; J. Kotcher; B. Kothari; A. Koubarovsky; A. V. Kozelov; D. Krop; A. Kryemadhi; T. Kuhl; A. Kumar; S. Kunori; A. Kupco; T. Kurča; J. Kvita; D. Lam; S. Lammers; G. Landsberg; J. Lazoflores; P. Lebrun; W. M. Lee; A. Leflat; F. Lehner; V. Lesne; J. Leveque; P. Lewis; J. Li; L. Li; Q. Z. Li; S. M. Lietti; J. G. R. Lima; D. Lincoln; J. Linnemann; V. V. Lipaev; R. Lipton; Z. Liu; L. Lobo; A. Lobodenko; M. Lokajicek; A. Lounis; P. Love; H. J. Lubatti; M. Lynker; A. L. Lyon; A. K. A. Maciel; R. J. Madaras; P. Mättig; C. Magass; A. Magerkurth; N. Makovec; P. K. Mal; H. B. Malbouisson; S. Malik; V. L. Malyshev; H. S. Mao; Y. Maravin; B. Martin; R. McCarthy; A. Melnitchouk; A. Mendes; L. Mendoza; P. G. Mercadante; M. Merkin; K. W. Merritt; A. Meyer; J. Meyer; M. Michaut; H. Miettinen; T. Millet; J. Mitrevski; J. Molina; R. K. Mommsen; N. K. Mondal; J. Monk; R. W. Moore; T. Moulik; G. S. Muanza; M. Mulders; M. Mulhearn; O. Mundal; L. Mundim; E. Nagy; M. Naimuddin; M. Narain; N. A. Naumann; H. A. Neal; J. P. Negret; P. Neustroev; H. Nilsen; C. Noeding; A. Nomerotski; S. F. Novaes; T. Nunnemann; V. O’Dell; D. C. O’Neil; G. Obrant; C. Ochando; V. Oguri; N. Oliveira; D. Onoprienko; N. Oshima; J. Osta; R. Otec; G. J. Otero y Garzón; M. Owen; P. Padley; M. Pangilinan; N. Parashar; S.-J. Park; S. K. Park; J. Parsons; R. Partridge; N. Parua; A. Patwa; G. Pawloski; P. M. Perea; K. Peters; Y. Peters; P. Pétroff; M. Petteni; R. Piegaia; J. Piper; M.-A. Pleier; P. L. M. Podesta-Lerma; V. M. Podstavkov; Y. Pogorelov; M.-E. Pol; A. Pompoš; B. G. Pope; A. V. Popov; C. Potter; W. L. Prado da Silva; H. B. Prosper; S. Protopopescu; J. Qian; A. Quadt; B. Quinn; M. S. Rangel; K. J. Rani; K. Ranjan; P. N. Ratoff; P. Renkel; S. Reucroft; M. Rijssenbeek; I. Ripp-Baudot; F. Rizatdinova; S. Robinson; R. F. Rodrigues; C. Royon; P. Rubinov; R. Ruchti; G. Sajot; A. Sánchez-Hernández; M. P. Sanders; A. Santoro; G. Savage; L. Sawyer; T. Scanlon; D. Schaile; R. D. Schamberger; Y. Scheglov; H. Schellman; P. Schieferdecker; C. Schmitt; C. Schwanenberger; A. Schwartzman; R. Schwienhorst; J. Sekaric; S. Sengupta; H. Severini; E. Shabalina; M. Shamim; V. Shary; A. A. Shchukin; R. K. Shivpuri; D. Shpakov; V. Siccardi; R. A. Sidwell; V. Simak; V. Sirotenko; P. Skubic; P. Slattery; D. Smirnov; R. P. Smith; G. R. Snow; J. Snow; S. Snyder; S. Söldner-Rembold; L. Sonnenschein; A. Sopczak; M. Sosebee; K. Soustruznik; M. Souza; B. Spurlock; J. Stark; J. Steele; V. Stolin; D. A. Stoyanova; J. Strandberg; S. Strandberg; M. A. Strang; M. Strauss; R. Ströhmer; D. Strom; M. Strovink; L. Stutte; S. Sumowidagdo; P. Svoisky; A. Sznajder; M. Talby; P. Tamburello; A. Tanasijczuk; W. Taylor; P. Telford; J. Temple; B. Tiller; F. Tissandier; M. Titov; V. V. Tokmenin; M. Tomoto; T. Toole; I. Torchiani; T. Trefzger; S. Trincaz-Duvoid; D. Tsybychev; B. Tuchming; C. Tully; P. M. Tuts; R. Unalan; L. Uvarov; S. Uvarov; S. Uzunyan; B. Vachon; P. J. van den Berg; B. van Eijk; R. Van Kooten; W. M. van Leeuwen; N. Varelas; E. W. Varnes; A. Vartapetian; I. A. Vasilyev; M. Vaupel; P. Verdier; L. S. Vertogradov; M. Verzocchi; F. Villeneuve-Seguier; P. Vint; J.-R. Vlimant; E. Von Toerne; M. Voutilainen; M. Vreeswijk; H. D. Wahl; L. Wang; M. H. L. S. Wang; J. Warchol; G. Watts; M. Wayne; G. Weber; M. Weber; H. Weerts; A. Wenger; N. Wermes; M. Wetstein; A. White; D. Wicke; G. W. Wilson; S. J. Wimpenny; M. Wobisch; D. R. Wood; T. R. Wyatt; Y. Xie; S. Yacoob; R. Yamada; M. Yan; T. Yasuda; Y. A. Yatsunenko; K. Yip; H. D. Yoo; S. W. Youn; C. Yu; J. Yu; A. Yurkewicz; A. Zatserklyaniy; C. Zeitnitz; D. Zhang; T. Zhao; B. Zhou; J. Zhu; M. Zielinski; D. Zieminska; A. Zieminski; V. Zutshi; E. G. Zverev
errShare
errSave
errShare
errSave
A small-gap electrostatic micro-actuator for large deflections
err2015-12-11
err97
errOAAI
errConrad, Holger; Schenk, Harald; Kaiser, Bert; Langa, Sergiu; Gaudet, Matthieu; Schimmanz, Klaus; Stolz, Michael; Lenz, Miriam
errShare
errSave
A Novel Force Sensor Based on Optical Fibers Used for Semicircular Flexure Beam Unit
err2022-01-01
err5
PREAI
errZang, Haoyan; Zhang, Xianmin; Zhang, Hongchuan; Zhu, Benliang; Fatikow, Sergej
errShare
errSave
Highly sensitive force sensor based on optical microfiber asymmetrical Fabry-Perot interferometer
err2014-02-06
err45
errOAAI
errGong, Yuan; Yu, Cai-Bin; Wang, Ting-Ting; Liu, Xiu-Ping; Wu, Yu; Rao, Yun-Jiang; Zhang, Ming-Lei; Wu, Hui-Juan; Chen, Xiao-Xiao; Peng, Gang-Ding
errShare
errSave
researcher View more