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收藏Low-temperature amorphous boron nitride on Si0.7Ge0.3(001), Cu, and HOPG from sequential exposures of N2H4 and BCl3
Wolf, Steven; Edmonds, Mary; Sardashti, Kasra; Clemons, Max; Park, Jun Hong; Yoshida, Naomi; Dong, Lin; Nemani, Srinivas; Yieh, Ellie; Holmes, Russell; Alvarez, Daniel; Kummel, Andrew C.
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收藏Low temperature thermal ALD of a SiNx interfacial diffusion barrier and interface passivation layer on SixGe1-x(001) and SixGe1-x(110)
Edmonds, Mary; Sardashti, Kasra; Wolf, Steven; Chagarov, Evgueni; Clemons, Max; Kent, Tyler; Park, Jun Hong; Tang, Kechao; McIntyre, Paul C.; Yoshida, Naomi; Dong, Lin; Holmes, Russell; Alvarez, Daniel; Kummel, Andrew C.
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