P
Prajith Karadan
H指数:8
被引数:227
个人简介
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教育背景
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工作经历
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荣誉奖项
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杂交多层极紫外抗蚀剂在垂直分子线结构下的超低线边缘粗糙度
使用低分子量抗蚀剂 (<500 Da) 在光刻中接近埃级分辨率
ACS NANO
IF16
NANO LETTERS
IF9.1
硼单层掺杂: 氧化物覆盖层,分子碎片和纳米级掺杂均匀性的作用
暂无内容
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杂交多层极紫外抗蚀剂在垂直分子线结构下的超低线边缘粗糙度
使用低分子量抗蚀剂 (<500 Da) 在光刻中接近埃级分辨率
硼单层掺杂: 氧化物覆盖层,分子碎片和纳米级掺杂均匀性的作用