Е
Е. О. Филатова
H指数:19
被引数:1,830
个人简介
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教育背景
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工作经历
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荣誉奖项
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B4C/Ru多层膜的微观结构与热稳定性(碳阻挡层)
退火前后阻挡层对EUV波段Mo/Be多层膜微观结构的影响
Vacuum
IF3.9
通过B4C阻挡层的插入增强Cr/Ti多层膜的耐热稳定性
不同厚度Ti/Ni多层结构中硅中间层对过渡层形成的影响
Ni0.95Mo0.05/Ti多层膜的金属间化合物形成与织构演化
超薄Cr/Be层状体系中的层间混合及阻挡层对界面区的影响

