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收藏Ultrahigh Si+ implant activation efficiency in GaN using a high-temperature rapid thermal process system
Cao, XA; Abernathy, CR; Singh, RK; Pearton, SJ; Fu, M; Sarvepalli, V; Sekhar, JA; Zolper, JC; Rieger, DJ; Han, J; Drummond, TJ; Shul, RJ; Wilson, RG
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