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K

Kouta Kusaba

机构信息待补充

5H指数
14论文数
63被引数
收录论文 1
发表时间
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Negative ion assisted silicon oxidation with transformer coupled RF bias
errSURFACE & COATINGS TECHNOLOGY
IF6.1
err1999-09-01
err5
PREAI
errShindo, H; Koromogawa, T; Fujii, T; Kusaba, K; Horiike, Y
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研究方向

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合作学者
合作期刊
H
Hiroyuki Shindo
H 指数: 27 · 论文数: 188
Y
Y. Horiike
H 指数: 18 · 论文数: 114
T
T. Fujii
H 指数: 18 · 论文数: 120
T
Takashi Koromogawa
H 指数: 5 · 论文数: 7
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