Qinwen Xu

单块AlScN固装谐振器的Bragg反射镜光谱工程用于多通带滤波

弧形变迹技术抑制Sc0.2Al0.8N薄膜兰姆波谐振器和滤波器的寄生模式

基于双谐振单元固定位相相反驱动共振相机制实现宽带MEMS压电扬声器阵列

基于AlN/AlScN异质结构的高灵敏度固支谐振器负载传感器

通过优化AlN种子层结晶度和极性对准来增强薄膜体声波谐振器的性能

通过双共振形状调谐振膜设计提高MEMS压电扬声器的声带宽和声压级平坦度

铝 nitride 体声波谐振器中退火诱导的功率容量增强的机制研究

基于AlN薄膜的体声波滤波器设计与制备，目标频率为2.3 GHz频段

双层AlN/Sc₀.₂Al₀.₈N薄膜极性反转的研究及其对体声波谐振器薄膜的影响

与CMOS兼容的高极化ScAlN铁电薄膜，适用于高性能FeFET存储器和人工突触

通过Mo/SiC复合微结构提高6.5 GHz谐振器的品质因数

平行横截面拉梅模态杆状谐振器，具有高有效机电耦合系数和温度稳定性

3.5 GHz带通薄膜体声波谐振器滤波器的设计与制作