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王

王超 (Chao Wang)

University of Science and Technology of China
H指数:29
被引数:3,880

个人简介

"教育背景 1996.09-2000.07 清华大学机械工程系，学士 2000.09-2003.07 清华大学机械工程系，硕士 2004.10-2008.10 牛津大学材料系，博士 工作履历 2003.07-2004.08 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司，副高级工程师 2008.06-2012.06 应用材料公司，高级工程师/中国地区技术经理 2012.06-2021.11 电子科技大学，教授 2021.12至今 清华大学精密仪器系，教授、博士生导师 研究概况 王超教授长期从事高温动态复杂环境下的高精度在线监测方法研究及仪器制造，重点应用于集成电路芯片制造中的关键参数监测以及航空发动机涡轮转子叶片的温度监测。授权美国专利7项和中国发明专利62项；发表SCI学术论文83篇，Google学术引用2700余次；主持国家自然科学基金重大科研仪器研制项目等省部级以上项目10余项；获第十五届中国青年科技奖等荣誉"

教育背景

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工作经历

暂无内容

荣誉奖项

暂无内容

研究方向

复杂环境下在线监测技术芯片制造装备及核心部件能量转换与存储一体化器件
闫
闫文盛
H 指数:97论文数:493被引数:3.9万
H
Hengli Duan
H 指数:21论文数:53被引数:2,687
孙
孙治湖
H 指数:55论文数:216被引数:1.4万
Q
Qianqian Ji
H 指数:25论文数:71被引数:3,447
F
Fengchun Hu
H 指数:39论文数:188被引数:7,464
L
Liang Cai
H 指数:28论文数:87被引数:3,108
胡
胡伟
H 指数:53论文数:275被引数:1.1万
H
Hao Tan
H 指数:20论文数:57被引数:2,089
H
Hao Tan
H 指数:34论文数:72被引数:4,024
G
Guinan Li
H 指数:14论文数:78被引数:900