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吴衍青 (Yanqing Wu)
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个人简介
任职于中国科学院上海高等研究院，理学博士，研究员，博士生导师，上海光源软X射线干涉光刻线站负责人。长期从事软X射线干涉光刻技术、同步辐射光束线理论及技术研究；应用神经网络技术发展新型X射线成像探测技术；探索超表面硅基微纳光学应用。主持国家自然科学基金面上项目课题、中国科学院上海大科学中心研发项目课题，以及科技部重大专项子课题。
教育背景
2000.12
中科院上海光机所 博士
1992.12
复旦大学 本科
工作经历
2018.10 – 至今
中科院上海高研院
研究员，博导
2004.07 – 2018.09
中科院上海应物所
副研究员，研究员，博导
2001.11 – 2004.02
韩国浦项工大
博士后
2000.01 – 2001.11
复旦大学
博士后
1992.07 – 2000.12
中科院上海光机所
助理研究员
荣誉奖项
暂无内容
通过活性配体添加剂改善四核有机锡抗蚀剂的微影性能
基于多苄基氯的分子抗蚀剂通过自交联实现13 nm半间距光刻
通过臭氧处理和气相渗透增强PMMA光刻胶薄膜
ACS PHOTONICS
IF6.7
OPTICS EXPRESS
IF3.3
NANOPHOTONICS
IF6.6
ACS OMEGA
IF4.3
OPTICS LETTERS
IF3.3
基于mott相变材料的光子晶体作为全光带隙开关和复合逻辑门
OPTICAL MATERIALS
IF4.2
PHOTONICS RESEARCH
IF7.2
SSRF软x射线干涉光刻技术的最新进展
SCIENTIFIC REPORTS
IF3.9
