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Rui Zhang

guangdong university of technology

3H指数
8论文数
29被引数
收录论文 6
发表时间
Preparation and Properties of Plasma Etching-Resistant Y2O3 FilmsY₂O₃薄膜的制备及其耐等离子体刻蚀性能
err2025-11-29
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errOAAI
errRui Zhang; Jiaxing Peng; Xiaobo Zhang; Kesheng Guo; Zecui Gao; Wei Dai; Zhengtao Wu; Yuxiang Xu; Qimin Wang
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