半导体衬底加工技术金刚石线锯智能制造微电子及光电子衬底高效精密加工技术控性磨削加工理论及应用:高性能滚动轴承滚道表面的控性磨削加工低温气雾冷却磨削加工技术磨削淬硬及磨削表面强化技术流体诱导振动理论及应用复杂流场分析流固耦合换热器内弹性管束流体诱导振动及强化换热摩擦学:轴承润滑理论及应用金刚石线锯切片、磨削加工的摩擦磨损及冷却润滑光伏单晶硅细线超薄切片加工的基础研究半导体金刚线切片研磨装备及工具树脂金刚石线锯锯切硅晶体最小极限切片厚度研究换热器壳程分布式脉动流诱导多排弹性管束振动大尺寸KDP晶体固结磨料线锯精密锯切Fluid-induced vibration in heat exchangers磨削淬硬新技术数值模拟大直径硅晶体低损伤精密切片技术滚动轴承滚道表面状态可控性磨削近期主要的代表性论文、著作、专利2022年代表性论文光伏硅片金刚线切割机器视觉在线检测电镀金刚石线锯磨粒突出高度电镀金刚石线锯液桥作用机理超薄晶圆切割连续脉冲放电电火花沉积金刚石线锯热模拟代表性发明专利换热器内弹性管束振动诱导的均布式脉动流地址:济南市经十路17923号山东大学机械工程学院