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收藏Simulation of thermal and flow field in a large-scale vertical roll-to-roll PECVD chamber大型垂直卷对卷PECVD腔体内热流场的模拟
Li, Xuelei; He, Yanchun; Wang, Xiaoyi; Xu, Jianxun; Wang, Hu; Zhang, Hulin; Li, Zhonghua; Zuo, Huaping; Wang, Lanxi; Yang, Miao; Feng, Yudong
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