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收藏Ultrathin TiN Membranes as a Technology Platform for CMOS-Integrated MEMS and BioMEMS Devices
Birkholz, M.; Ehwald, K. -E; Kulse, P.; Drews, J.; Froehlich, M.; Haak, U.; Kaynak, M.; Matthus, E.; Schulz, K.; Wolansky, D.
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