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Li, Te-Sheng
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Defect spatial pattern recognition using a hybrid SOM-SVM approach in semiconductor manufacturing
半导体制造中使用混合som-svm方法进行缺陷空间模式识别
EXPERT SYSTEMS WITH APPLICATIONS
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7.5
2009-01-01
79
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AI
Li, Te-Sheng; Huang, Cheng-Lung
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Huang, Cheng-Lung
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