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收藏Microstructure and mechanical properties of stress-tailored piezoelectric AlN thin films for electro-acoustic devices
Reusch, Markus; Cherneva, Sabina; Lu, Yuan; Zukauskaite, Agne; Kirste, Lutz; Holc, Katarzyna; Datcheva, Maria; Stoychev, Dimitar; Lebedev, Vadim; Ambacher, Oliver
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