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张
张鹏 (Peng Zhang)
H指数:11
被引数:317
个人简介
"教育背景及工作经历 2007.9 - 2011.7 同济大学 机械设计制造及其自动化 学士 2011.7 - 2012.7 上海凯盛节能工程技术有限公司 助理工程师 2013.9 - 2018.12 西南交通大学 机械设计及理论 博士 2019.1 - 至 今 四川大学机械工程学院 助理/副研究员 从事纳米摩擦学、超精密表面制造理论基础研究，聚焦等离子体刻蚀加工装备和技术开发。主要涉及材料表面工程、半导体制造领域。迄今为止在Nature Communications、Tribology international、wear等期刊发表SCI论文17篇。负责国家自然科学青年基金1项，中国博士后基金面上项目1项，国家重点研发计划项目子课题1项、四川省重点研发计划1项，国家地方联合工程实验室开放基金和专职博士后启动基金各1项。 开设课程 本科：《机械设计》 研究生：《学术规范与研究生论文写作指导》 研究领域 1.大气压等离子体刻蚀单晶硅的表面晶格损伤控制与精度形成机理 2021/1-2023/12 2.等离子体辅助蓝宝石表面微观材料去除行为与机理研究 2020/4-2021/12 3用于晶硅太阳能电池表面制绒的大气压等离子体刻蚀装备及工艺 2020/1-2021/12 4. 织构化热处理对润滑条件下轴承钢表面耐磨特性的影响 2021/1-2022/12 授权专利 一种大气压ICP 硅太阳能电池制绒装置及制绒系统（2021203649781）"
教育背景
暂无内容
工作经历
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荣誉奖项
暂无内容
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