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Qi, Yuejing

chinese academy of sciences

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Analysis of laser-induced damage effects on lithographic illumination pupil-fill characteristics激光诱导损伤效应对光刻照明光瞳填充特性的影响分析
errApplied Optics
IF1.7
err2026-03-20
err0
PREAI
errYang, Shuman; Qi, Yuejing; Shen, Zhiyuan; Ma, Jing; Qi, Wei; Su, Jiani
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Prediction Method of Wafer Height Process Dependency Error Based on Deep Transfer Learning基于深度迁移学习的晶圆高度过程依赖性误差预测方法
errActa Optica Sinica
IF1.6
err2026-02-01
err1
PREAI
errWu, Zhipeng; Qi, Yuejing; Wang, Dan; Xu, Tianwei; Zhou, Xin; Zhu, Liling
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合作学者
合作期刊
X
Xu, TianWei
H 指数: 0 · 论文数: 3
王
王丹 (Wang, Dan)
H 指数: 0 · 论文数: 202
M
Ma, Jing
H 指数: 0 · 论文数: 70
W
Wu, Zhipeng
H 指数: 0 · 论文数: 10
Z
Zhou, Xin
H 指数: 0 · 论文数: 202
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