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Compact single-track absolute capacitive angular displacement sensor with high accuracy
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DOI：10.1016/j.sna.2026.117708.png)
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摘要
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• 通过将CMG和FMG的平行电容配置转变为周向串联配置，提出一种紧凑型单轨绝对电容式角位移传感器，减少径向占用并保持高精度绝对角度测量。
• 开发一种由转子上的四个感应电极组均匀分布构成的转子结构，并应用TSIED方法，以解决FMG和CMG拼接区域出现的信号串扰对测量精度的影响。
• 进行三维有限元仿真，设计传感电极参数，并验证TSIED方法在所提出的电容式角位移传感器中的可行性。
• 演示采用印刷电路板技术制造的外径为112 mm的原型传感器，其FMG重复性达到3.4″，补偿后FMG测量精度在360°测量范围内为±6″。
Keyword:
capacitive angular displacement sensor
absolute angle measurement
signal crosstalk
TSIED method
finite-element simulation
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0
论文数:
775
被引数:
1
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