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Diffusion-isolated pressure equilibration for multigas refractometry

delete2026-05-01
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PRE
AI
I
Isak Silander
J
Johan Zakrisson
O
Ove Axner
M
Martin Zelán *
DOI:10.1116/6.0005393delete
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摘要

摘要

En 中文
法布里-珀罗折射率测量法是高精度压力实现的一种领先技术;然而,多气体操作通常受限于气体处理复杂性和交叉污染的风险。在本工作中,我们研究了快速压力平衡与长、窄连接中慢得多分子扩散之间的显著时间尺度差异是否可以被利用,以使两个连接的法布里-珀罗腔体基折射仪在相同压力下使用不同气体操作。基于菲克第二定律的扩散建模,结合使用两个折射仪的实验,表明气体混合可以保持在1 ppm以下,适用于多种测量时间和压力。这些结果表明了一种简单且稳健的方法,可以在共同压力下实现同时多气体折射率测量,而无需物理分离硬件。
Keyword:
GAS
STANDARD

期刊

J
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B
IF:
1.2
论文数:
103
被引数:
0

机构

R
RISE Research Institutes of Sweden
学者数:
1.9K
论文数: 1.5K
被引数: 2.5K
U
umeå university
学者数:
1.1K
论文数: 456
被引数: 0