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Fiber-Tip Magnetically Driven Microgripper for Micromanipulation
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DOI：10.1109/JLT.2025.3598310.png)
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摘要
En 中文
本文提出了一种集成尺寸传感器的光纤端面磁驱动微夹持器，用于在夹持过程中测量微物体的尺寸。其固定爪和驱动爪通过双光子聚合技术在光纤端面制备而成。磁驱动组件包括矩形沟槽和磁响应铁球。沟槽底平面与光纤端面构成法布里-珀罗干涉仪（FPI），作为尺寸传感器。在磁场驱动下，驱动爪向固定爪移动以夹持微物体。这一过程使沟槽底平面倾斜，从而引起FPI干涉光谱的漂移。通过解调夹持过程中的光谱数据即可测量物体尺寸。实验验证了该微夹持器在磁场驱动下的开合功能，以及夹持直径范围为4.12至14.85 μm的五种尺寸二氧化硅微球的性能。借助尺寸传感器，微夹持器成功测量了微球的尺寸，最大误差为0.22 μm。这种集驱动与传感于一体的设计为微米级微操作提供了一种新颖的解决方案。
Keyword:
Fabry–Perot interferometer
microgripper
microoperation
optical fiber sensor
期刊
IF:
4.8
论文数:
1.7W
被引数:
3.8W
机构
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