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Liquid–Solid Hybrid Magneto-Mechanical Force Sensor
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DOI：10.1021/acs.nanolett.5c04680.png)
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摘要
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高灵敏度力传感器能够实现对执行器的精确且高效的控制，以处理和表征易碎物体。然而，应变片和压电元件与柔性聚合物或微机电悬臂梁结合时，与半导体电路的单片集成（包括能够最大化传感性能并最小化生产成本的传感放大器）是不兼容的。在此，我们开发了一种由与磁性流体（MF）接触的磁隧道结（MTJs）构成的力传感器，其中MTJs采用与半导体兼容的大规模生产工艺制造，而MF-MTJ传感器仅需通过在MTJ器件上滴加一滴MF即可形成。尽管MTJs中不存在常规的应变诱导电阻变化，但MF中的力学与磁学相互作用使得传感器能够通过隧道磁阻效应检测到小于100 μN的机械载荷。在这些MF-MTJs经过104次循环加载测试的过程中，未检测到磁-力学性能的退化。
期刊
IF:
9.1
论文数:
2.7W
被引数:
16.5W
机构
引用论文
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