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Pattern Transfer for van der Waals Integration
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DOI：10.1021/acsaelm.4c01664.png)
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摘要
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原子薄的二维材料是通过范德华集成设计功能电子和光学器件的有希望的候选者。然而，朝向先进装置的路线通常涉及将所有预制源材料转移到目标衬底上，显著依赖于转移后掩蔽和蚀刻操作以去除不期望的组分。现有的转移技术基于缺乏可控几何形状的旋涂聚合物载体，从而限制了它们选择性地仅转移源材料的指定组分的能力。在这里，我们介绍了一种图案转移技术，用于通过将可扩展的聚合物转移载体快速图案化成所需的形状和尺寸，按需从源材料中挑选出所需的组件。图案化的载体提供了扭转角可控性和准备转移电极的一步制备的优点，使得能够形成超莫尔同质结构和范德华电接触。图案转移技术的这些功能为多功能范德华器件的设计和多功能集成提供了巨大的潜力，并推动了二维材料的工业应用。
Keyword:
two-dimensional materials
van der Waals integration
transfer
twisted graphene
van der Waals contact
期刊
IF:
4.7
论文数:
5.0K
被引数:
1.4W
机构
引用论文
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