Phase measuring deflectometry based on shearing wavefront error matching

2026-07-10

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DOI：10.1016/j.optlaseng.2026.110004

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摘要

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• 通过剪切波前误差匹配实现物理上的一致性光线追踪。• PMD中参考镜误差与系统误差之间的耦合被有效解耦。• 以更少的校准步骤实现了更高精度。

Keyword:

Phase measuring deflectometry

Calibration

Surface shape

Optical measurement