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Micromechanics and Microsystems Europe Workshop
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DRIE Si Nanowire Arrays Supported Nano-Carbon Film for Deriving High Specific Energy Supercapacitors On-Chip
30TH MICROMECHANICS AND MICROSYSTEMS EUROPE WORKSHOP (MME) 2019
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2021-03-01
5
OA
AI
Lu, Pai; Chen, Xuyuan; Ohlckers, Per; Halvorsen, Einar; Hoffmann, Martin; Mueller, Lutz
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