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IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems Technical Digest
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FIFTEENTH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, TECHNICAL DIGEST
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2024-10-30
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Waibel, G; Kohnle, J; Cernosa, R; Storz, M; Schmitt, M; Ernst, H; Sandmaier, H; Zengerle, R; Strobelt, T
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FIFTEENTH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, TECHNICAL DIGEST
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