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OrléAns University-Cnrs

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发表时间

Chemistry in Cryogenic Etching: A Tutorial 低温蚀刻中的化学：一个教程

Plasma Chemistry and Plasma Processing

IF2.5

2025-12-11

0

PREAI

Remi Dussart; Gaelle Antoun; Thomas Tillocher; Loic Becerra; Philippe Lefaucheux

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